多功能燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的設(shè)備。主要用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完成鋁背場及柵線燒結(jié)。

　　多功能燒結(jié)爐的正確使用步驟：
 

　　1、檢查電路和水路能否正常，如正常通電，通水。
 

　　2、翻開機械泵，過30秒后遲緩翻開預(yù)抽閥，1分鐘后翻開前級閥。
 

　　3、在真空度到達10Pa以下時翻開擴散泵，給擴散泵加熱。
 

　　4、擴散泵加熱到60分鐘后，關(guān)閉預(yù)抽閥，翻開高真空閥，真空度會逐步到達高真空。
 

　　5、加熱啟動，在200度以下請你選用手動加熱，在控制面板手動操作菜單中，留意次運用時，把撥鈕上下動搖一次，然后撥到手動位置，啟動加熱，輸入50左右，肯定。電流普通控制在300A以下，  自動加熱：在溫度控制界面設(shè)定溫控表自動開端加熱或開啟手動位用手動開端加熱。 以上設(shè)置闡明：從200度用時120分鐘到600度，600度時保溫30分鐘，從600度用時130分鐘到1000度，在1000度時保溫5個小時，從1000度降到600度用時60分鐘，60分鐘后程序自動中止。設(shè)定好加熱工藝后，首先中止手動加熱，然后把撥鈕撥到自動位置，啟動自動加熱程序，假如需求記載數(shù)據(jù)請在數(shù)據(jù)保管見面打“√”。
 

　　6、在保溫狀態(tài)下，一定要堅持循環(huán)水的正常循環(huán)。
 

　　7、保溫時間到后，關(guān)閉加熱開關(guān)，假如不需求高真空能夠關(guān)閉擴散泵，翻開預(yù)抽閥，關(guān)閉高真空閥，開端降溫。留意：機械泵不要關(guān)閉。
 

　　8、在溫度降到200度時關(guān)掉機械泵，關(guān)閉一切閥門。
 

　　9、在常溫下釋放壓力，沖入空氣，將原料取出。
 

　　10、如不繼續(xù)工作，應(yīng)翻開機械泵和預(yù)抽閥再抽5分鐘真空，關(guān)閉機械泵和預(yù)抽閥。堅持工作室里有真空度，避免水汽侵入。
 

　　11、壓力操作：首先在手動操作界面，報壓力形式撥到自動位置，能夠直接用儀表操作，設(shè)定好程序后按run鍵3秒啟動，按stop鍵3秒中止。